CL-901
CL-903
HEPAフィルターを通した清浄な空気をブース内へ導入し、内部の気圧を高めます。
外部との気圧差により、塵・ホコリの浸入を防ぎます。
用途例




| 清浄度クラス (N)  | 
							次の対象粒径以上 a)の粒子に対する上限粒子数濃度(個/m3) | |
|---|---|---|
| 0.3 µm | 0.5 µm | |
| 1 | c) | c) | 
| 2 | 10 | c) | 
| 3 | 102 | 35 | 
| 4 | 1,020 | 352 | 
| 5 | 10,200 | 3,520 | 
| 6 | 102,000 | 32,500 | 
| 7 | b) | 352,000 | 
| 8 | b) | 3,520,000 | 
| 9 | b) | 35,200,000 | 
(実測値)
8,942,989 p/m3(0.5µm)
CL-901最大伸長時(2530mm)
始動後15分後に1000mm高のそれぞれの個所で測定。
				| 測定個所 | 0.3 µm  | 
							0.5 µm  | 
						
|---|---|---|
| ① | 633,510 | 85,002 | 
| ② | 661,515 | 87,298 | 
| ③ | 490,309 | 69,040 | 
| ④ | 302,929 | 43,684 | 
| ⑤ | 416,007 | 58,552 | 
| ⑥ | 199,104 | 27,722 | 
| ⑦ | 343,895 | 53,890 | 
| ⑧ | 424,906 | 64,308 | 
| ⑨ | 643,964 | 98,811 | 
| ⑩ | 581,633 | 85,214 |