| クリーンブース | 陰圧ブース（ドラフトブース） | 遮蔽ブース | |||||||||||
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| 排気重視型 | 陽圧重視型 | ||||||||||||
ブース内の清浄化
HEPAフィルターを通した清浄な空気をブース内へ導入 
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ブース内の汚染防止
清浄な空気を導入し陽圧を高め汚染物質侵入を阻止
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ブース外への拡散防止
ブース内部の空気をHEPAフィルターでろ過してから排気 
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ブース内・外の遮断
透明の樹脂シートでブース内・外の空間を遮断 
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CL-901系 |
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CL-909 |
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CL-905 |
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Z-902系 |
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CL-901-A |
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CL-905-A |
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Z-902-A |
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CL-903 |
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Z-904 |
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Z-906 |
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