品番	外形寸法 mm			清浄度 クラス	FFU 搭載数	納期
			W	H※	D
	クリーンブース	CL-901	2000	2200	850～2530	10000	1台	10日
		CL-901-B5	2000	2200	1390～2500	1000	2台	40日
		CL-901-B1	2500	2200	850～3300	10000
		CL-901-B3	3000	3000	850～3300
		CL-901-B2	3000	2200	1490～4300
		CL-901-B4	4000	2500	1540～5000		4台
	遮蔽ブース	Z-902	2000	2200	850～2530	-	-	10日
		Z-902-B1	2500	2200	200～3000			40日
		Z-902-B3	3000	3000	200～3000
		Z-902-B2	3000	2200	300～4000
		Z-902-B4	4000	2500	350～5200

※高さはブース天井の地上高です。（FFUは含みません）
　ブース内部には梁を構成する28mmφのアルミパイプが、天井から約185mm下がったところについています。