ブースレイアウトの例
クリーンブースのスペースを拡張する
本製品は立面4面のシートレイアウトを自由に選択できます。
また、スペースの拡張や異種ブースとの組み合わせも無限に可能です。
1.CL-911 クリーンブースのスペースを2台分に拡張する例(CL-911に点線内の部品を追加します)
① 2台の間に間仕切りを設置しない場合
② 2台の間に間仕切りを設置する場合
2.異種のブースを繋ぎ合わせる例
本製品は部品単品の組合せで、異種ブースとのレイアウトを自由に選択できます。
① CL-911 クリーンブース + Z-912 遮蔽ブース + 単体部品
② CL-911 クリーンブース + CL-917 遮光ブース(受注生産品) + 単体部品
- 清浄度クラス
- 清浄度の規格は、米国連邦規格が業界では長らく慣用されてきましたが、ISO14644-1、JIS B 9920-1に置き変わってきています。
| 清浄度クラス (N) |
次の対象粒径以上 a)の粒子に対する上限粒子数濃度(個/m3) | |
|---|---|---|
| 0.3 µm | 0.5 µm | |
| 1 | c) | c) |
| 2 | 10 | c) |
| 3 | 102 | 35 |
| 4 | 1,020 | 352 |
| 5 | 10,200 | 3,520 |
| 6 | 102,000 | 32,500 |
| 7 | b) | 352,000 |
| 8 | b) | 3,520,000 |
| 9 | b) | 35,200,000 |
注
- a) この表の最大許容粒子数は、対象粒径以上の粒子数の累積値を示す。例えば、清浄度クラス5、0.3µmに示す10,200個の粒子は、同粒径及びその粒径以上の全ての粒子を含む。
- b) 非常に粒子濃度が高いため、表のこの領域に濃度限界は適用しない。
- c) 低濃度のため粒子のサンプリング及び統計処理は、クラス分類に不適切である。
- (JIS B 9920-1より抜粋)
CL-911除塵性能
- 試験環境
- 0.3µm(1m3)
- 1,860,300 p/m3
- (一般事務所)
- 0.5µm(1m3)
- 149,300 p/m3
FFUを作動15分後に、床面から1000mmの高さで測定。
| 測定個所 | 0.3µm | 0.5µm |
|---|---|---|
| ① | 4200 | 700 |
| ② | 5800 | 1000 |
| ③ | 3300 | 800 |
| ④ | 3900 | 600 |
| ⑤ | 3700 | 500 |
| ⑥ | 1400 | 100 |
| ⑦ | 2200 | 300 |
| ⑧ | 3600 | 800 |
| ⑨ | 2600 | 400 |
| ⑩ | 2000 | 500 |



































不織布(プレフィルター)
(HEPA / プレフィルター装着時)
ブース
100(米国連邦規格209E)
(帯電防止剤練り込み) 厚さ0.3mm
(シート14kg+フレーム27kg+FFU13.5kg)